技術(shù)領(lǐng)域： 實(shí)用于新型涉及軌道式勻膠顯影機(jī)中晶片的轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，具體為一種勻膠顯影機(jī)用機(jī)械手裝置。

 勻膠顯影機(jī)是線性模塊裝備的全自動(dòng)設(shè)備，恣意兩個(gè)相鄰模塊之間都需求一個(gè)晶片的轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，所以晶片的模塊間精確快速傳送就顯得格外重要。為了完成不同模塊之間晶片的平穩(wěn)轉(zhuǎn)移和取放，

一個(gè)簡(jiǎn)易機(jī)械手的開發(fā)顯得尤為重要。該機(jī)械手應(yīng)該能完成左右旋轉(zhuǎn)和上下升降兩個(gè)功能，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)略而牢靠，同時(shí)造價(jià)較低，并能完成徹底的國(guó)產(chǎn)化。
  新式內(nèi)容本就實(shí)用于新式的目的在于提供一種勻膠顯影機(jī)用機(jī)械手設(shè)備，該機(jī)械手結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)略牢靠而又合理，操作修理十分便利，且造價(jià)較低。
   實(shí)用于新式的技能計(jì)劃是膠顯影機(jī)用機(jī)械手設(shè)備，包含主軸、套筒、大齒輪I、大齒輪II、底板、機(jī)械手、小齒輪I、支座、小齒輪II、升降電機(jī)、旋轉(zhuǎn)電機(jī)；主軸外側(cè)設(shè)有套筒，小齒輪II由旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，小齒輪II與大齒輪I經(jīng)過皮帶傳動(dòng)，大齒輪I經(jīng)過銜接部件與套筒固定，套筒上端與底板相連，主軸上部穿過底板，大齒輪II與主軸上部銜接，支座置于底板上，大齒輪II與主軸上部銜接，支座置于底板上，小齒輪I置于支座上，與機(jī)械手經(jīng)過銜接部件銜接的小齒輪I與大齒輪II之間經(jīng)過皮帶傳動(dòng)。
所述皮帶上下能夠設(shè)有張緊輪；所述支座內(nèi)開有與真空管、機(jī)械手相通的通道，主軸為中空軸，需求傳送的晶片置于機(jī)械手上外表，經(jīng)過真空吸附設(shè)備、主軸、真空管、支座，從機(jī)械手底部將晶片吸附于機(jī)械手上外表。
   所述支座為“⊥”形，其內(nèi)通道為“」”形，小齒輪I與“⊥”形支座的豎向經(jīng)過軸承合作。
   實(shí)用于新式絲杠與升降電機(jī)銜接，絲杠穿過提高板，與提高板螺紋傳動(dòng)合作；同時(shí)，主軸、導(dǎo)向桿穿過提高板，形成對(duì)提高板的三點(diǎn)定位。
  實(shí)用于新式位置檢測(cè)開關(guān)安裝在提高板上，與坐落提高板右側(cè)的極限位檢測(cè)片合作完成機(jī)械手上下位的檢測(cè)。
  實(shí)用于新式旋轉(zhuǎn)電機(jī)和升降電機(jī)能夠?yàn)橥诫姍C(jī)。
實(shí)用于新式的長(zhǎng)處及有益作用是
1  實(shí)用于新式晶片在機(jī)械手上放置的中心點(diǎn)總是在一條直線上運(yùn)動(dòng)，且移動(dòng)距離可調(diào)。
2  實(shí)用于新式機(jī)械手配有真空吸附，輔助晶片定位，保證晶片在移動(dòng)中不發(fā)生偏移。
3  實(shí)用于新式機(jī)械手的上下移動(dòng)和左右旋轉(zhuǎn)均由步進(jìn)馬達(dá)完成，靠脈沖個(gè)數(shù)的給定來完成精確的重復(fù)定位精度。
4  實(shí)用于新式能夠具有杰出的人機(jī)交互界面，對(duì)機(jī)械手進(jìn)行監(jiān)控。
5  實(shí)用于新式結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)略牢靠而又合理，操作修理十分便利，且造價(jià)較低。

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